电子探针显微镜（EPMA）又称微区X射线光谱分析仪、X射线显微分析仪。其原理是利用聚焦的高能电子束轰击固体表面，使被轰击的元素激发出特征X射线，按其波长及强度对固体表面微区进行定性及定量化学分析。主要用来分析固体物质表面的细小颗粒或微小区域，最小范围直径为1μm左右。分析元素从原子序数3（锂）至92（铀），广泛应用于地质、冶金、水泥、材料等领域。主要用于成分分析、形貌观察，以成分分析为主，主要用WDS进行元素成分分析、检出角大、附有光学显微镜，可以准确定位工作距离（物镜极靴下表面与试样表面之间的距离）、电流大、稳定，所以定量结果准确度高，检测极限低。利用EPMA可以进行点分析，线分析，面分析。

点分析：将电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成分分析，例如：对材料晶界、夹杂、析出相、沉淀物、奇异相及非化学计量材料的组成等分析。对低含量元素定量，只能用点分析。

线分析：电子束沿一条分析线进行扫描（或试样台移动扫描）时，能获得元素含量变化的线分布曲线。如果和试样形貌像（二次电子像或背散射衍射电子像）对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布变化曲线。

面分析：将电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌像对照分析。

进行观察和分析时，通常采用磨平或抛光等处理手段使样品表面保持光滑平整，以此得到类纳米级别的微观相分布，便于分析领域的人员对微观区域的准确定位与分析。

                           电子探针（EPMA）

1. 样品具有良好的导电性，不导电需进行喷金或喷碳；如果样品由于您要求不喷金（喷碳）而导致效果不好，不安排复测。

2. 样品状态：粉末、薄膜、块体均可（样品性质稳定无毒，电子束轰击时不能挥发、易燃易爆等；有机高分子材料与强磁粉末不可上机）。

3. 粉末样品：

（1）表征粉末表面：至少提供20mg样品。

（2）表征粉末内部：需要与项目经理沟通确认。

4. 块体样品： 样品尺寸不超过20*20*10mm；直径≤20mm，高度≤10mm；样品上下表面平行，待测面需打磨并机械抛光，保证样品表面的平整度，制样使表征面平整光滑，在200倍光镜下没有明显的划痕，且至少有一对平行面；合金或复合材料等偏析明显的材料不需要腐蚀，部分材料如果没有明显偏析，可轻微腐蚀出晶界后进行测试；若存在下列情况，请联系工作人员：待测样品区域在样品边缘；样品尺寸过大。

5，请务必仔细检查您的样品，若发现以弱磁强磁充当非磁或者以强磁充当弱磁非磁，我们将可能无法安排您的实验，不承担以此造成的时间和样品损失；而且因隐瞒样品信息导致仪器损坏，需要您承担全部赔偿责任！！！

6. 测试费用按具体测试时长收取。

1、EPMA中成分分析属于能谱分析还是波谱分析？

答：EPMA成分分析使用的是波长色散谱仪（WDS），即属于波谱分析。

2、SEM和EPMA的主要区别是？

答：SEM侧重于形貌成像，EPMA更倾向于微区成分分析。